发明名称 防尘薄膜组件处理夹具
摘要 一种防尘薄膜组件处理夹具,能够对至少一边的长度超过500mm的矩形防尘薄膜组件进行安全、确实且方便的握持。沿着防尘薄膜组件框架的一对边的外侧面配置有两根臂部,该两根臂部的各自一端被连接在连结部,在该连结部设置有操作部,在所述两根臂部的至少各自两处、防尘薄膜组件框架把持机构搭载在可以于任意的位置移动及固定的移动机构。并且,所述防尘薄膜组件框架把持机构的先端为销形状或爪形状,将该先端插入到设置在防尘薄膜组件框架的外侧面的凹部或槽部后,来进行防尘薄膜组件的把持。
申请公布号 TWI458040 申请公布日期 2014.10.21
申请号 TW100141423 申请日期 2011.11.14
申请人 信越化学工业股份有限公司 日本 发明人 关原一敏
分类号 H01L21/677;B65G49/06 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 一种防尘薄膜组件处理夹具,其特征在于:沿着防尘薄膜组件框架的一对边的外侧面配置有两根臂部,该两根臂部的各自一端被连接在连结部,在该连结部设置有操作部,在所述两根臂部上,各自具有至少两个各自在所述臂部上的任意位置进行移动及固定的防尘薄膜组件框架把持机构。
地址 日本