Bauelement, Nutzen und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements

摘要

Die Erfindung betrifft ein Bauelement (100) mit einem Substrataufbau (102) und einer elektrischen Schaltung (104). Der Substrataufbau (102) besteht zumindest aus einer ersten Ebene (106) aus einem Substrat und einer zweiten Ebene (108) aus dem Substrat. Die erste Ebene (106) weist einen relativ zu der zweiten Ebene (108) beweglich gelagerten ersten Teilbereich (110) und einen mechanisch und/oder elektrisch mit der zweiten Ebene (108) verbundenen zweiten Teilbereich (112) auf. Zwischen dem ersten Teilbereich (110) und dem zweiten Teilbereich (112) sind federnde Strukturen (114) aus der ersten Ebene (106) ausgebildet. Der erste Teilbereich (110) weist Schnittstellen (116) zum elektrischen und mechanischen Verbinden mit einer Leiterplatte (602) auf. Zwischen der ersten Ebene (106) und der zweiten Ebene (108) ist ein Hohlraum (118) zum Ermöglichen einer Relativbewegung zwischen den Schnittstellen (116) und der zweiten Ebene (108) angeordnet. Die elektrische Schaltung (104) ist auf der zweiten Ebene (108) innerhalb eines Gehäuses (120) angeordnet. Die Schaltung (104) ist über den Substrataufbau (102) elektrisch mit den Schnittstellen (116) verbunden.