多层热电模组与其制造方法;MULTI-LAYER THERMOELECTRIC MODULE AND FABRICATION METHOD THEREOF

摘要

一种多层热电模组与其制造方法。多层热电模组包含二热电元件组以及金属电极组,其中此二热电元件组对应至不同的工作温度范围。每一热电元件组包含热电单元、界面黏着层、扩散障碍层以及高熔点金属层。在多层热电模组之制造方法中,首先于热电单元上依序形成界面黏着层、扩散障碍层以及高熔点金属层,以获得前述之二热电元件组。接着,于金属电极组之二电极层上分别形成高熔点金属层。然后,进行固液扩散接合步骤,以利用低熔点金属层来与高熔点金属层反应,而产生介金属化合物层来将热电元件组接合至金属电极组,并完全消耗低熔点金属层。