电浆处理容器及电浆处理装置

摘要

[课题]在以感应耦合电浆处理装置为首的电浆处理装置中,抑制因热所致之盖构件的变形。[解决手段]于感应耦合电浆处理装置(1)之本体容器(2A)与上部容器(2B)的连接部份,涵盖全周配设有O形环(51)、隔热构件(52)及螺旋遮蔽(53)。隔热构件(52)系被嵌入于隔热构件用沟(62)内。隔热构件(52)系由「长条状」的复数个隔热片(54)构成。藉由隔热构件(52),于本体容器(2A)与上部容器(2B)之间设有间隙(CL)。藉由隔热构件(52),使本体容器(2A)与上部容器(2B)热性分离,即使上部容器(2B)因热产生变形时,亦可吸收该变形量。