供西门子反应器（Ｓｉｅｍｅｎｓ ｒｅａｃｔｏｒ）用之气体分配器;GAS DISTRIBUTOR FOR SIEMENS REACTOR

摘要

本发明系关于一种可输送气体的气体分配器，其包括藉由可容易拆卸的紧固装置而彼此气密连接的至少两个区段、至少一个进气开口和至少一个出气开口，其中该气体分配器可以藉由可容易拆卸的紧固装置而安装至一用于多晶矽沉积的反应器的一底板，其中该气体分配器的至少一个出气开口系连通性地连接至该反应器的一个进气开口，和/或其中该气体分配器的至少一个进气开口系连通性地连接至反应器的出气开口。