| 发明名称 | 显示面板以及其包含之薄膜电晶体基板之制备方法;DISPLAY PANEL AND MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR SUBSTRATE CONTAINED THEREIN | ||
| 摘要 | 本发明系有关于一种显示面板以及其包含之薄膜电晶体基板之制备方法,其中该显示面板包括一种薄膜电晶体基板,而该薄膜电晶体基板之制备过程中,系于源极及汲极与多晶矽层间形成一金属薄膜层,并于退火制程中,同时掺杂以及活化多晶矽层,而形成金属矽化物,如此可降低显示面板整体之制程温度于400℃以下。 | ||
| 申请公布号 | TW201440225 | 申请公布日期 | 2014.10.16 |
| 申请号 | TW102112309 | 申请日期 | 2013.04.08 |
| 申请人 | 群创光电股份有限公司 | 发明人 | 刘侑宗;李淂裕;黄建达 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01);G02F1/136(2006.01);H01L27/32(2006.01) | 主分类号 | H01L29/786(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | <name>林志鸿</name><name>陈聪浩</name> | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 苗栗县竹南镇新竹科学工业园区科学路160号 | ||