| 发明名称 |
功能性被膜、液浸构件、液浸构件之制造方法、曝光装置、及元件制造方法 |
| 摘要 |
一种施加于基材表面之功能性被膜，其包含：掺杂有Ti之四面体非晶碳之膜(ta-C：Ti膜)。 |
| 申请公布号 |
TW201439346 |
申请公布日期 |
2014.10.16 |
| 申请号 |
TW103102208 |
申请日期 |
2014.01.22 |
| 申请人 |
尼康股份有限公司 |
发明人 |
岸梅工;泷优介 |
| 分类号 |
C23C14/06(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>阎启泰</name><name>林景郁</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
