| 发明名称 |
感光性树脂组成物、感光性元件、喷砂用罩幕材及被处理体的表面加工方法;PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE ELEMENT, MASK MATERIAL FOR SANDBLAST AND SURFACE PROCESSING METHOD OF WORKPIECE |
| 摘要 |
本发明提供一种感光性树脂组成物,其含有(A)具有羧基的黏合聚合物、(B)具有乙烯性不饱和基的光聚合性化合物、(C)光聚合起始剂及(D)具有巯基的矽烷化合物,且(B)具有乙烯性不饱和基的光聚合性化合物包含(甲基)丙烯酸胺基甲酸酯化合物。 |
| 申请公布号 |
TW201439674 |
申请公布日期 |
2014.10.16 |
| 申请号 |
TW103103329 |
申请日期 |
2014.01.29 |
| 申请人 |
日立化成股份有限公司 |
发明人 |
板垣秀一;吉田哲也;小泽恭子 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/032(2006.01);G03F7/028(2006.01);G03F7/075(2006.01);H01L21/31(2006.01);H01L21/3105(2006.01);H01L21/027(2006.01);G03F7/36(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
<name>叶璟宗</name><name>郑婷文</name><name>詹富闵</name> |
| 主权项 |
|
| 地址 |
日本 |
