| 摘要 |
本発明は、ポンピング・チャンバ弾性、アクチュエータ緩和、又は、ヒステリシスに関する送達誤差を減らすために、交互に入れ替えられた作動サイクルによる改善を記述する。方法は、最適駆動電圧プロファイルで、ポンピング・デバイスを作動し、ここで、ポンピング・デバイスは、ポンピング膜を含むポンピング・チャンバ、及び、該膜に接続された、電圧コントロールされたアクチュエータを含み；上記膜の動きは、３つの位置、即ち、休止、底部、及び、上部位置によって規定される。方法は、少なくとも２つの異なったサイクル：サイクルＡ：休止−底部−休止−上部−休止、サイクルＢ：休止−上部−休止−底部−休止を含むポンピング・パターンでの膜の作動を含む。発明は、方法を実行するデバイスにも関する。 |
