VORRICHTUNG MIT EINEM SCHWINGFÄHIG AUFGEHÄNGTEN OPTISCHEN ELEMENT UND VERFAHREN ZUM AUSLENKEN DESSELBEN

摘要

Die zugrunde liegende Erfindung legt eine Vorrichtung dar, die ein schwingfähig aufgehängtes optischen Element mit mindestens einem Aktuator enthält, der ausgebildet ist, um eine an dem schwingfähig aufgehängten optischen Element vorbeiströmende Fluidströmung zu beeinflussen, sodass das schwingfähig aufgehängte optische Element in Schwingung versetzt wird und die Energie für diese Schwingung dem Fluid entnommen wird. Gleichzeitig wird das Fluid als Kühlmittel verwendet, sodass die dargelegte Vorrichtung aufgrund der abtransportierten Wärmemenge in der Lage ist, größere Lichtleistungen zu handhaben.