Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

摘要

Bereitgestellt wird eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung mit hoher Empfindlichkeit, die in der Lage ist, aus einer Probe (101) abgestrahlte Ladungsteilchen (201) mit hoher Auflösung zu erfassen. In der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung veranlasst ein Absorptionsstromdetektor (202), der so angeordnet ist, dass er die Probe (101) berührt, dass ein Absorptionsstrom, der durch die Bestrahlung mit einem Ladungsteilchenstrahl (104) in der Probe (101) erzeugt wird, durch den Detektor fließt, um dadurch den Strom zu erfassen. Der Ladungsteilchenstrahl (104) tastet die Probe (101) ab, und die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung erfasst ein Absorptionsstrombild. Wenn der Absorptionsstromdetektor (202) getrennt von der Probe (101) angeordnet ist, erfasst er, während der durch die Bestrahlung mit dem Ladungsteilchenstrahl (104) aus der Probe (101) abgestrahlte Ladungsteilchenstrahl (201) auf ihn fällt, den einfallenden Ladungsteilchenstrahl (201) als Signalstrom (Ia), der abhängig von einem Winkelθist, der relativ zu der Normallinienrichtung der Vorderseite der Probe (101) und/oder der Einfallsrichtung des Ladungsteilchenstrahls (104) von der Bestrahlungsposition des Ladungsteilchenstrahls (104) auf der Probe (101) in Richtung hin zu dem Absorptionsstromdetektor (202) gebildet wird.