Anordnung zum Abtasten einer Probenfläche sowie entsprechendes Verfahren

摘要

Anordnung zum Abtasten einer Probenfläche (P) einer Probe mit einer zum Abtasten der Probenfläche (P) ausgebildeten Inspektionseinheit (1), mit der die Probenfläche (P) kennzeichnende Flächendaten (2) erzeugbar sind, einem Bildumsetzer (3), mit dem die die Probenfläche (P) kennzeichnenden Flächendaten (2) in einen Bilddatensatz (4) umsetzbar sind, einer bevorzugt flächigen Anzeigeeinheit (5) zur visuellen Darstellung (6) des Bilddatensatzes (4) und einer Interaktionseinheit (7), mit der eine oder mehrere die Abtastung der Probenfläche (P) kennzeichnende Abtasteinstellung(en) (8a bis 8f) der Inspektionseinheit (1) unter Heranziehen eines die visuelle Darstellung (6) des Bilddatensatzes (4) auf der Anzeigeeinheit (5) betrachtenden Benutzers (B) veränderbar ist/sind, wobei mit der Interaktionseinheit (7) ein Verhalten und/oder eine Reaktion des Benutzers (B) beim Betrachten der visuellen Darstellung (6) des Bilddatensatzes (4) auf der Anzeigeeinheit (5) erfassbar und auswertbar ist/sind und wobei mit der Interaktionseinheit (7) anhand des Auswertungsergebnisses die eine oder mehreren die Abtastung der Probenfläche (P) kennzeichnende(n) Abtasteinstellung(en) (8a bis 8f) veränderbar ist/sind.