用于计量学及检测之有限结构及有限照明的电磁模型化方法;METHOD OF ELECTROMAGNETIC MODELING OF FINITE STRUCTURES AND FINITE ILLUMINATION FOR METROLOGY AND INSPECTION

摘要

本文中描述用于计量学及检测之有限结构及有限照明的电磁模型化。在一项实施例中，一种用于评估一绕射结构之方法涉及提供该绕射结构之一模型。该方法涉及计算该绕射结构之一环境的背景电场或磁场。该方法涉及基于该等计算背景场而使用一散射场定式来计算来自该绕射结构之散射电场或磁场。该方法进一步涉及：基于该等计算散射场来计算该绕射结构之该模型的光谱资讯；及比较该模型之该计算光谱资讯与该绕射结构之量测光谱资讯。回应于一优良模型配适，该方法涉及基于该绕射结构之该模型来判定该绕射结构之一物理特性。