二极体模组和其制作方法及光互连装置;DIODE MODULE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME, AND OPTICALLY CONNECTING DEVICE

摘要

一种二极体模组,包括半导体基底层、二极体外延层及光波导。该半导体基底层具有一表面,该表面包括依次相邻设置的外延层生长区、光波导固定区及光纤接入区,该光纤接入区开设有光纤收容沟槽,该光纤收容沟槽的延伸方向指向该光波导固定区。该二极体外延层形成于该外延层生长区,该二极体外延层包括沿远离该表面依次排列的半导体缓冲层和PN结,该PN结之间形成有多重量子井结构层。该光波导形成于该光波导固定区,该光波导其中一侧面与该多重量子井结构层一侧面相对。本发明还涉及该二极体模组的制作方法及光互连装置。