发明名称 |
入力電流を測定するためのシステム |
摘要 |
電流源(CS)からの入力電流(Ics)を測定し、電流測定信号を生成するための測定システムであって、電流源に接続された第1の入力端子(72)と、電流測定信号を供給するための出力端子(74)とを有する電流測定回路(70)を備える、測定システム。電流測定回路は、電流測定回路に電力供給するための電源(77a、77b)から1つまたは複数の電圧を受け取るように構成された1つまたは複数の電源端子(75、76)をさらに備える。電流測定回路はまた、第1の電圧源を備え、1つまたは複数の電源端子に結合された第1の電圧源(VD)であって、1つまたは複数の電源端子に外乱電圧を供給し、外乱電圧は第1の入力端子における電圧を表す。【選択図】図5 |
申请公布号 |
JP2014527616(A) |
申请公布日期 |
2014.10.16 |
申请号 |
JP20140517764 |
申请日期 |
2012.07.02 |
申请人 |
マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. |
发明人 |
ベルブルク、コー;モッセル、ロベルト;パディー、カウストゥーブ・ブラボード;デ・コク、エリク;ビス、ウィム |
分类号 |
G01R19/00;G01B7/00;G01D5/241;G03F9/02;H01L21/027 |
主分类号 |
G01R19/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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