发明名称 Tragvorrichtung für ein Interferometer, Messvorrichtung mit einem Interferometer und einer solchen Tragvorrichtung und Verwendung einer solchen Tragvorrichtung
摘要 <p>Die vorliegende Erfindung betrifft eine Tragvorrichtung (2) für ein Interferometer (4) mit einem Halteteil (28), an dem das Interferometer (4) lösbar befestigt werden kann, wobei an der Tragvorrichtung (2) eine Umlenkeinheit (52) vorgesehen ist, mittels derer ein von dem lösbar an dem Halteteil (28) befestigten Interferometer (4) ausgesandter Messstrahl (66) umlenkbar ist. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner eine Messvorrichtung (6) mit einer solchen Tragvorrichtung (2) und eine vorteilhafte Verwendung der Tragvorrichtung (2).</p>
申请公布号 DE102013006478(A1) 申请公布日期 2014.10.16
申请号 DE20131006478 申请日期 2013.04.13
申请人 MAUL-THEET GMBH 发明人 KNODEL, WIELAND;KEIL, MATTHIAS;THEET, KARL
分类号 G01D11/30;G01B9/02;G01J9/02 主分类号 G01D11/30
代理机构 代理人
主权项
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