半导体结构制作方法;METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR STRUCTURES

摘要

一种半导体结构之制作方法,该制作方法首先提供一基底,且该基底上包含有复数个轴心图案与复数个虚设图案。接下来于该等轴心图案之侧壁形成复数个第一侧壁子,同时于该等虚设图案之侧壁形成复数个第二侧壁子。在形成该等第一侧壁子与该等第二侧壁子之后,即移除该等第二侧壁子与移除该等轴心图案,并于该基底上形成复数个侧壁子图案。