发明名称 |
用于处理沉积反应器之方法及系统;METHOD AND SYSTEM FOR TREATMENT OF DEPOSITION REACTOR |
摘要 |
本发明揭示一种用于处理沉积反应器之系统及方法。该系统及方法移除用于沉积掺杂金属膜(诸如掺铝之碳化钛膜或掺铝之碳化钽膜)之气相反应器中之残余物或减轻该残余物的形成。该方法包括将反应室曝露于处理反应物之步骤,该步骤减轻导致残余物形成之物质的形成。 |
申请公布号 |
TW201439364 |
申请公布日期 |
2014.10.16 |
申请号 |
TW103102563 |
申请日期 |
2014.01.24 |
申请人 |
ASM智慧财产控股公司 |
发明人 |
浩克 苏维;席罗 艾瑞克 詹姆士;阿罗寇萨伊 佛瑞德;李 东;威克勒 杰瑞德 李;陈希翀 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01);H01L21/205(2006.01);B08B7/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>阎启泰</name><name>林景郁</name> |
主权项 |
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地址 |
荷兰 |