发明名称 |
脉冲宽度控制器;PULSE WIDTH CONTROLLER |
摘要 |
兹揭示一种热处理系统之脉冲宽度控制器。脉冲电磁辐射经导引通过转动式波片至偏振分光镜,该偏振分光镜之反射及透射系依据该波片之相位角度。由该偏振分光镜透射之辐射被导引至光电路,该光电路经传递时间后使该辐射返回该偏振分光镜。第二转动式波片摆设于该光电路中。该偏振分光镜依据该第二转动式波片之相位角度反射及透射该返回辐射。第二脉冲宽度控制器可巢套于该光电路中,且该光电路可巢套任何数量之脉冲宽度控制器。 |
申请公布号 |
TW201438839 |
申请公布日期 |
2014.10.16 |
申请号 |
TW102134141 |
申请日期 |
2013.09.23 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
马菲特舍朵瑞P |
分类号 |
B23K26/06(2014.01);B23K26/0622(2014.01);B23K26/064(2014.01);H01L21/324(2006.01) |
主分类号 |
B23K26/06(2014.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
主权项 |
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地址 |
美国 |