| 摘要 |
Es wird ein mikromechanisches Bauelement vorgeschlagen, das ein eine Haupterstreckungsebene aufweisendes Substrat, eine Elektrode und eine relativ zum Substrat bewegliche seismische Masse aufweist, wobei die seismische Masse eine Gegenelektrode ist oder umfasst, wobei die Gegenelektrode eine Lochflächendichte größer 0% aufgrund von Ausnehmungen oder Löchern senkrechts zur Haupterstreckungsebene aufweist, wobei die Ausnehmungen oder Löcher eine maximale Lochdimension aufweisen, wobei die Elektrode ortsfest gegenüber dem Substrat angeordnet ist, wobei die Elektrode und die Gegenelektrode im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene des Substrats erstreckt sind, wobei die Elektrode einen Elektrodenrad umfasst und wobei eine Überdeckung des Elektrodenrandes durch die Gegenelektrode entlang einer senkrecht zur Haupterstreckungsebene verlaufenden Richtung vorgesehen ist, wobei der Elektrodenrand und die Gegenelektrode derart ausgebildet ist, dass im Falle einer Auslenkung der seismischen Masse entlang einer parallel zur Haupterstreckungsebene und senkrecht zum generellen Verlauf des Elektrodenrandes verlaufenden Auslenkungsrichtung die Überdeckung in einem Versatzbereich der seismischen Masse erfolgt und die Summe der Überdeckung des Elektrodenrandes durch die Gegenelektrode betragsmäßig über den gesamten Verlauf des Elektrodenrandes im Wesentlichen konstant bleibt oder die Variation der maximalen Summe der Überdeckung des Elektrodenrandes durch die Gegenelektrode über den gesamten Verlauf des Elektrodenrandes unterhalb der Lochflächendichte bleibt und jeder einzelne Bereich einer Variation oberhalb der Lochflächendichte der maximalen Summe der Überdeckung des Elektrodenrandes durch die Gegenelektrode über den gesamten Verlauf des Elektrodenrandes auf einen Bereich entlang der Auslenkungsrichtung von maximal 2 Mikrometer oder von maximal der Hälfte der maximalen Lochdimension begrenzt bleibt. |
