发明名称 晶粒重排机
摘要 本发明为一种晶粒重排机,其包括有一机架,于机架上设有载片架及胶垫,载片架上可置放供承载胶膜之载片,于机架上设有载片移动机构、影像判读装置、顶针装置及一转印台,影像判读装置辨别胶膜上之合格晶粒位置后,由顶针装置将合格晶粒依序顶至胶垫上,再由胶垫配合转印台将晶粒转印至另一胶膜上,藉此达到自动化排列晶粒之目的,可降低现有人为操作的作业成本及因误差导致之损耗,提供更低的作业成本及更佳的产出良率。
申请公布号 TW201440157 申请公布日期 2014.10.16
申请号 TW102111670 申请日期 2013.04.01
申请人 捷毅系统股份有限公司 发明人 蔡正欣
分类号 H01L21/67(2006.01) 主分类号 H01L21/67(2006.01)
代理机构 代理人 <name>桂齐恒</name><name>林景郁</name>
主权项
地址 新竹市香山区埔前路278号