发明名称 堆叠式致动器装置、系统及方法;STACKED ACTUATOR APPARATUS, SYSTEM, AND METHOD
摘要 描述各种方法用于制造堆叠式致动器以及包含多个堆叠式致动器的致动器总成。可用以下所揭示的制程制造该堆叠式致动器:片材堆叠制程,包括真空带子制程的卷对片材贴合制程,各种回圈铸塑制程,以及连续贴合制程。也揭示各种堆叠式致动器。
申请公布号 TW201440270 申请公布日期 2014.10.16
申请号 TW102140294 申请日期 2013.11.06
申请人 拜耳智慧财产有限公司 发明人 苏瑟蓝德 威廉;吴 沛翰;利普塔瓦特 派特;纳札利 胡曼;比吉斯 赛蒙
分类号 H01L41/27(2013.01);H01L41/338(2013.01);H01L41/45(2013.01);H01L41/047(2006.01) 主分类号 H01L41/27(2013.01)
代理机构 代理人 <name>林秋琴</name><name>陈彦希</name><name>何爱文</name>
主权项
地址 德国