具有透过含隔离区之接触蚀刻终止层耦接之金属接点之影像感测器;IMAGE SENSOR HAVING METAL CONTACT COUPLED THROUGH A CONTACT ETCH STOP LAYER WITH AN ISOLATION REGION

摘要

一影像感测器像素包括安置在一半导体层中之一或多个光电二极体。像素电路安置在该半导体层中、耦接至该一或多个光电二极体。一钝化层在该像素电路及该一或多个光电二极体上方安置在该半导体层附近。一接触蚀刻终止层安置在该钝化层上方。一或多个金属接点透过该接触蚀刻终止层耦接至该像素电路。一或多个隔离区界定于该接触蚀刻终止层中,该等隔离区将该一或多个金属接点耦接至该像素电路所透过之接触蚀刻终止层材料与该一或多个光电二极体隔离。