电浆处理装置及电浆处理方法

摘要

有效率且稳定确实地防止透过静电夹具来载置被处理基板之高频电极(载置台)与该基板之间的异常放电。该电浆处理装置中,系在载置半导体晶圆于静电夹具上之后的第1时间点,将载置台从电性接地状态切换为浮动状态。然后,从之后的第2时间点,施加电浆生成用之第2高频至载置台,而在腔室激发处理气体以生成电浆。然后,从之后的第3时间点,施加离子吸引用之第1高频至载置台,以产生自偏压。然后,从与该第3时间点接近之第4时间点,施加对应于自偏压之负极性的第2直流电压至载置台。然后,从上述第4时间点之后的第5时间点,施加正极性之第1直流电压至静电夹具之内部电极。