| 发明名称 |
用于卤化物驱气的处理系统及方法;PROCESSING SYSTEMS AND METHODS FOR HALIDE SCAVENGING |
| 摘要 |
提供用于控制湿气污染物造成之制程缺陷的系统、腔室及制程。系统可提供用于腔室之设置以在真空或受控环境中施行多项操作。腔室可包括组合腔室设计中之设置以提供附加处理功能。方法可提供对老化缺陷之限制、防止及修正,该等老化缺陷可由系统工具施行之蚀刻制程造成。 |
| 申请公布号 |
TW201440138 |
申请公布日期 |
2014.10.16 |
| 申请号 |
TW103109119 |
申请日期 |
2014.03.13 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
王安川;陈兴隆;李资慧;浜名宏;陈智君;徐菁镁;黄嘉莹;英格尔尼汀Ｋ;路柏曼斯基迪米奇;凡卡塔拉曼尙卡尔;萨库瑞希尔 |
| 分类号 |
H01L21/306(2006.01);H01L21/3065(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/306(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
