| 发明名称 | 一种对缺陷进行选择性检测的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种对缺陷进行选择性检测的方法，包括：通过缺陷检测设备检测晶圆中的每个芯片；对检测到的芯片上的缺陷的位置数据进行记录；将缺陷的位置数据选择性地设置于缺陷检测设备中；缺陷检测设备根据位置数据对后续晶圆中的芯片的缺陷进行选择性检测。从而能够实现对缺陷的定位，提高缺陷检测的效率和精度、以及降低缺陷分析的难度。 | ||
| 申请公布号 | CN104103541A | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
| 申请号 | CN201410377341.0 | 申请日期 | 2014.08.01 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人 | 吴世华;林彦之 |
| 主权项 | 一种对缺陷进行选择性检测的方法，其特征在于，包括：通过缺陷检测设备检测晶圆中的每个芯片；对检测到的芯片上的缺陷的位置数据进行记录；将所述缺陷的位置数据选择性地设置于缺陷检测设备中；缺陷检测设备根据所述位置数据对后续晶圆中的芯片的缺陷进行选择性检测。 | ||
| 地址 | 201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 | ||