溅镀装置

摘要

一种溅镀装置，包括溅镀室、溅镀传动组件、第一靶材和第二靶材。溅镀传动组件包括第一主动齿轮、第二主动齿轮、传动轨道、传动带、多个从动齿轮和多个料杆。第一主动齿轮和第二主动齿轮相邻设置。传动轨道包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道和环绕第二主动齿轮设置的第二轨道。传动带设置于传动轨道上且相对于传动轨道可移动。多个从动齿轮依次设置轴固于传动带，每一从动齿轮均用于在第一主动齿轮与第二主动齿轮的驱动下，在第一轨道传与第二轨道上传动。多个料杆分别设置于多个从动齿轮。第一靶材设置于第一轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第一镀层。第二靶材设置于第二轨道的弧心并用于向待镀工件表面溅镀第二镀层。

主权项

一种溅镀装置，包括： 溅镀室，其具有一个溅镀腔； 溅镀传动组件，其设置在该溅镀腔内，用于装载并传送待镀工件以进行溅镀，该溅镀传动组件包括第一主动齿轮及第二主动齿轮，该第一主动齿轮和第二主动齿轮相邻设置； 传动轨道，其包括环绕第一主动齿轮设置的第一轨道、环绕第二主动齿轮设置的第二轨道以及连接在第一轨道与第二轨道之间的第一连接轨道，该第一轨道和第二轨道均为圆弧形，该第一连接轨道位于第一主动齿轮与第二主动齿轮之间，且该第一连接轨道相对两侧分别同时环绕该第一主动齿轮与第二主动齿轮； 传动带，该传动带设置于该传动轨道上且该传动带相对于该传动轨道可移动； 多个从动齿轮，该多个从动齿轮依次枢接于该传动带，每一从动齿轮均用于在第一主动齿轮的驱动下实现自转并随该传动带自该第一轨道传动至该第一连接轨道，自第一轨道传送至第一连接轨道，并在第一连接轨道处与该第一主动齿轮和该第二主动齿轮均啮合，又在第二主动齿轮的驱动下随该传动带自该第一连接轨道传送至该第二轨道，每一从动齿轮在第一轨道时与第一主动齿轮啮合，在第二轨道时与第二主动齿轮啮合；及 多个用于悬挂待镀工件的料杆，该多个料杆分别固定设置于多个从动齿轮； 第一靶材，用于向待镀工件表面溅镀第一镀层，该第一靶材设置于第一轨道的弧心，该第一靶材具有第一靶面；以及 第二靶材，用于向待镀工件表面溅镀第二镀层，该第二靶材设置于第二轨道的弧心，且该第一、第二靶材分别位于该第一连接轨道的相对两侧，该第二靶材具有第二靶面，该第二靶面背向该第一靶面设置。