感光性聚合物组合物、图形的制造方法以及电子部件

摘要

一种感光性聚合物组合物，其含有（a）可溶于碱性水溶液的聚合物、（b）通过光产生酸的化合物、（c1）具有三个同种的二齿配体的铝螯合物、（c2）具有三个两种或三种的二齿配体的铝螯合物而形成。

主权项

一种感光性聚合物组合物，其含有下述(a)成分、(b)成分、(c1)成分和(c2)成分而形成： (a)可溶于碱性水溶液的聚合物， (b)通过光产生酸的化合物， (c1)具有三个同种的二齿配体的铝螯合物， (c2)具有三个两种或三种的二齿配体的铝螯合物， 所述(c1)成分是通式(II’)所示的铝螯合物， 式中，R₁和R₂各自独立地是氢原子或1价的有机基团，三个R₁和R₂的组合全部相同，1价的有机基团可以包含醚键、酯键， 所述(c2)成分为通式(II)或(II’’)所示的铝螯合物， 式中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅和R₆各自独立地是氢原子或1价的有机基团，1价的有机基团可以包含醚键、酯键， 其中，式(II)中，R¹和R²的组合、R³和R⁴的组合、以及R⁵和R⁶的组合互相不同，式(II’’)中，两个R¹和R²的组合相同，R¹和R²的组合以及R³和R⁴的组合互相不同。