| 发明名称 | 钟形罩和真空处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供能够提高钟形罩的结构强度的钟形罩和真空处理装置。钟形罩（10）由石英玻璃制成，用于构成真空处理装置（100）的容腔（110），真空处理装置（100）用于使容腔（110）内成为负压来对处理对象物进行规定的处理。钟形罩（10）具有：吊钟形的主体部（11），其下端开放；凸缘部（12），沿主体部（11）的下端形成；突条部（13），形成在主体部（11）的侧面（11a）的比凸缘部（12）更靠上侧的部位，并沿主体部（11）的周向延伸。 | ||
| 申请公布号 | CN104103556A | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
| 申请号 | CN201410136484.2 | 申请日期 | 2014.04.04 |
| 申请人 | 古河机械金属株式会社 | 发明人 | 小池一孝 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 宋晓宝;郭晓东 |
| 主权项 | 一种钟形罩，由石英玻璃制成，用于构成真空处理装置的容腔，所述真空处理装置用于使所述容腔内成为负压来对处理对象物进行规定的处理，其特征在于，具有：吊钟形的主体部，其下端开放；凸缘部，其沿所述主体部的下端形成；突条部，其形成在所述主体部的侧面的比所述凸缘部更靠上侧的部位，并沿所述主体部的周向延伸。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||