相位补偿薄膜光束组合器

摘要

一种用于将多个光束组合在光路上的光束组合器，其包括：第一二色性元件，其具有二色性涂层，该二色性涂层设置成沿光路透射第一波长带上的光并且将第二波长带上的光反射在光路上；以及第二二色性元件，其具有二色性涂层，该二色性涂层设置成沿光路透射第一和第二波长带上的光并且将第三波长带上的光反射在光路上。光束组合器还包括相位差补偿多层薄膜堆，该相位差补偿多层薄膜堆提供位于第一、第二和第三波长带中的任一个波长带之外的至少一个反射边缘过渡，并且对在第一、第二和第三波长带中的至少一个波长带上的传输中的偏振状态的累计相位差进行补偿。

主权项

一种光束引导组件，其用于将多个光束组合在光路上或者将光束分离到各个光路上，且包括：第一二色性元件，其设置成沿所述光路透射第一波长带上的光，并且将第二波长带上的光反射在所述光路上，所述第一二色性元件具有透射通带效率、反射通带效率和具有与通带边缘相关的特征的相位差曲线，并且使传输中的光的偏振状态产生相位差；第二二色性元件，其设置成沿所述光路透射第一和第二波长带上的光，并且将第三波长带上的光反射在所述光路上，所述第二二色性元件具有透射通带效率、反射通带效率和具有与通带边缘相关的特征的相位差曲线，并且使传输中的光的偏振状态产生相位差；以及形成在沿光路设置的至少一个光学表面上的至少一个相位差补偿多层薄膜堆，其中所述相位差补偿多层薄膜堆构造成提供位于入射在所述表面上的光的第一、第二或第三波长带中的任一个波长带之外的至少一个上升或下降带边缘，并且具有包含与所述相位差补偿多层薄膜堆的至少一个带边缘相关的特征的相位差曲线，其中这些相位差减小由所述第一或第二二色性元件所引起的在第一、第二或第三波长带中的至少一个波长带上的相位差，所述至少一个上升或下降带边缘位于提供补偿的100nm波长带内。