发明名称 |
能量线照射系统和工件输送机构 |
摘要 |
本发明提供能量线照射系统和工件输送机构,能大幅度改善生产率,并且有助于有效地利用能量线。能量线照射系统包括能量线射出机构、以及把照射所述能量线的工件(W)在规定的工件交接区域和能量线的照射区域(AR)之间输送的工件支架(21),把所述工件交接区域设置在隔着通过所述照射区域(AR)的虚拟直线(C)相对的两个部位,并且作为所述工件支架(21)设置有:第一工件支架(21(1)),在一方的工件交接区域和所述照射区域(AR)之间移动;以及第二工件支架(21(2)),在另一方的工件交接区域和所述照射区域(AR)之间移动。 |
申请公布号 |
CN104103554A |
申请公布日期 |
2014.10.15 |
申请号 |
CN201310567012.8 |
申请日期 |
2013.11.14 |
申请人 |
日新离子机器株式会社 |
发明人 |
小野田正敏;立道润一;松本武 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;B65G49/07(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 |
代理人 |
周善来;李雪春 |
主权项 |
一种能量线照射系统,其特征在于,所述能量线照射系统包括:能量线射出机构,向规定的照射区域射出能量线;以及工件支架,在规定的工件交接区域和所述照射区域之间输送作为被照射所述能量线的目标的工件,所述工件交接区域设置在隔着虚拟直线的相对的两个部位,所述虚拟直线通过所述能量线的照射区域,作为所述工件支架设置有:第一工件支架,在作为一方的工件交接区域的第一工件交接区域和所述照射区域之间输送工件;以及第二工件支架,在作为另一方的工件交接区域的第二工件交接区域和所述照射区域之间输送工件。 |
地址 |
日本京都府 |