| 发明名称 | 一种扩散炉用硼扩散炉管 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种扩散炉用硼扩散炉管，属于专门适用于制造或处理半导体器件的设备。本实用新型包括管体、进气管、尾气管和校温管，所述进气管位于管体前端的侧壁上，所述尾气管位于管体尾端端面的中心位置，所述校温管与尾气管位于同一端面。使用本实用新型的炉管进行硼工艺时，三溴化硼气体进气管进入，经排风从尾端的尾气管排出，炉管内部不涉及石英材质的器件，因此硼扩散反应产生的硼硅玻璃不会导致粘连问题，可以大大延长炉管的使用寿命，也间接提高了生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203883027U | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
| 申请号 | CN201420075372.6 | 申请日期 | 2014.02.21 |
| 申请人 | 英利能源（中国）有限公司 | 发明人 | 戎帅;赵鹏 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/228(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;C30B31/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人 | 陆林生 |
| 主权项 | 一种扩散炉用硼扩散炉管，其特征在于包括管体（2）、进气管（1）、尾气管（3）和校温管（4），所述进气管（1）位于管体（2）前端的侧壁上，所述尾气管（3）位于管体（2）尾端端面的中心位置，所述校温管（4）与尾气管（3）位于同一端面，所述校温管（4）与尾气管（3）之间的圆心距离为5cm，进气管（1）和尾气管（3）的半径为1.3cm，校温管（4）的半径为1.5cm。 | ||
| 地址 | 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号 | ||