发明名称 一种大高度截面积比碲化铋温差电元件切割方法
摘要 本发明涉及一种大高度截面积比碲化铋温差电元件切割方法,步骤包括:(1)将碲化铋锭块加工出高度尺寸的两平面,一平面粘贴在一个平板料托上;(2)用圆切片机将锭块切成多片与长度尺寸相同的薄片;(3)将用丙酮中将薄片与料托分离;(4)用双面胶将多片薄片粘结在一起;(5)用圆切片机将(4)中粘结在一起的薄片切割成宽度尺寸的薄片;(6)将用丙酮中将薄片与料托分离;(7)剔除胶带,将切割好的碲化铋温差电元件在去离子水中浸泡0.5h-1h,使碲化铋温差电元件间相互分离,用电吹风吹干,即完成大高度截面积比碲化铋温差电元件的切割。本发明解决了现有合格率低、成本高和表面清洁度差的问题。
申请公布号 CN102569632B 申请公布日期 2014.10.15
申请号 CN201010604928.2 申请日期 2010.12.24
申请人 中国电子科技集团公司第十八研究所 发明人 张丽丽;任保国;刘佳林
分类号 H01L35/34(2006.01)I 主分类号 H01L35/34(2006.01)I
代理机构 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 代理人 王来佳
主权项 一种大高度截面积比碲化铋温差电元件切割方法,其特征在于:步骤包括:步骤⑴:取碲化铋材料热压锭块,加工后的锭块具有15mm±0.03mm的高度尺寸,并且在高度尺寸方向上具有与高度尺寸方向垂直的两个平面,用502胶将锭块的上述两个平面中的一个平面粘贴在一个平板料托上;步骤⑵:采用圆切片机沿垂直于料托方向将步骤⑴中锭块切成多片长度尺寸相同的薄片,其中长度尺寸为0.8mm±0.03mm;步骤⑶:将步骤⑵中切割后的锭块在丙酮中浸泡10min‑20min,将薄片与料托分离;步骤⑷:用聚酰亚胺双面薄膜胶带将步骤⑶中多片薄片粘结在一起,保证材料片之间整齐对正,在一个与高度尺寸方向垂直的平面上粘贴一个平板料托;步骤⑸:用圆切片机对步骤⑷中粘结在一起的薄片进行垂直于平板料托方向的切割,切割成多个具有同一宽度尺寸的薄片,其中宽度尺寸为0.8mm±0.03mm;步骤⑹:将步骤⑸中切割后的薄片在丙酮中浸泡10min‑20min,薄片与料托分离;步骤⑺:剔除胶带,将切割好的碲化铋温差电元件在去离子水中浸泡0.5h‑1h,使碲化铋温差电元件间相互分离,用电吹风吹干,即完成大高度截面积比碲化铋温差电元件的切割。
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