正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器

摘要

正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器属于传感器；在装配台上依次安装第一、二、三、四、五、六、七连接架，四维调整架、分光镜、折反式长焦系统A、折反式长焦系统B、五维调整架、光电接收器B、光电接收器A分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架上，在四维调整架上装配激光光源，在五维调整架上安装带有光纤探针测头的光纤探针测杆，数据传输线将光电接收器A和光电接收器B分别与数据采集处理器连接；本传感器具有二维传感信息零耦合、能进行二维方向探测、测力小、易小型化、测量深径比大、实时性好、易应用的特点，在对微内尺寸和三维坐标实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。

主权项

一种正交光路二维微焦准直与三维坐标传感器，其特征在于在装配台(1)上安装第一连接架(2)、第二连接架(3)、第三连接架(4)、第四连接架(5)、第五连接架(6)、第六连接架(7)和第七连接架(8)，四维调整架(9)、分光镜(11)、折反式长焦系统A(12a)、折反式长焦系统B(12b)、五维调整架(14)、光电接收器B(18b)、光电接收器A(18a)分别装配在第一、二、三、四、五、六、七连接架(2、3、4、5、6、7、8)上，在四维调整架(9)上装配激光光源(10)，分光镜(11)和折反式长焦系统A(12a)依次位于激光光源(10)的直射光路上，折反式长焦系统B(12b)位于分光镜(11)的反射光路上，且激光光源(10)直射光路与分光镜(11)反射光路正交，折反式长焦系统A(12a)和光电接收器A(18a)之间的点光源一维微焦准直成像光路A(17a)与折反式长焦系统B(12b)和光电接收器B(18b)之间的点光源一维微焦准直成像光路B(17b)相互正交，且分别在点光源一维微焦准直成像光路A(17a)和点光源一维微焦准直成像光路B(17b)上构成点光源A(13a)和点光源B(13b)，其中点光源A(13a)和点光源B(13b)分别位于折反式长焦系统A(12a)和折反式长焦系统B(12b)的像方焦点上，在五维调整架(14)上安装带有光纤探针测头(16)的光纤探针测杆(15)，光纤探针测杆(15)位于点光源一维微焦准直成像光路A和B(17a、17b)的正交光路上，且点光源A(13a)和点光源B(13b)分别位于光纤探针测杆(15)的物方焦点上，点光源一维微焦准直成像光路A和B(17a、17b)分别在光电接收器A和B(18a、18b)上所成的两条亮条纹同时具有最小的偏度绝对值，此时光纤探针测杆(15)的位置为二维方向上的绝对“0”位置，数据传输线(19)将光电接收器A(18a)和光电接收器B(18b)分别与数据采集处理器(20)连接；所述折反式长焦系统A、B(12a、12b)结构是：在折反式长焦透镜外壳(25)内的同轴光路上从左至右依次配装球面反射镜(21)、校正透镜组A(22)、校正透镜组B(24)，在校正透镜组A(22)与校正透镜组B(24)之间配装与同轴光路轴线成45°倾斜的折叠平面镜(23)。