发明名称
摘要
申请公布号 JP5608776(B2) 申请公布日期 2014.10.15
申请号 JP20130065748 申请日期 2013.03.27
申请人 发明人
分类号 C30B25/18;C30B25/04;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
主权项
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