发明名称 干燥方法以及干燥装置
摘要 本发明提供一种干燥方法以及干燥装置。在使涂敷液供给部与基板相对移动并在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序中,会产生涂敷引起的条纹不均,成为外观检查不良的原因。因此,为了解决该课题,本发明提供一种干燥方法以及干燥装置。在使涂敷液供给部与基板相对移动而在基板上涂敷涂敷液的涂敷工序和通过对该已涂敷的膜进行干燥来形成涂敷膜的干燥工序中,有意地在干燥工序中产生干燥不均,由此,缓和在涂敷工序中所产生的条纹不均,使其不明显,从而防止产生外观不良。
申请公布号 CN104096666A 申请公布日期 2014.10.15
申请号 CN201410082063.6 申请日期 2014.03.07
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 土田修三;堀川晃宏;中村嘉宏
分类号 B05D1/42(2006.01)I;B05D3/04(2006.01)I;B05C5/00(2006.01)I;B05C13/00(2006.01)I 主分类号 B05D1/42(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 穆德骏;谢丽娜
主权项 一种干燥方法,包括:涂敷工序,通过在一定方向上对基材涂敷涂敷液,而在所述基材的表面形成涂敷膜;和干燥工序,对所述涂敷膜进行干燥,其中,所述干燥工序为在基材的面内产生点状的温度不均来进行干燥的工序。
地址 日本大阪