等离子体浸没式离子注入机的控制方法

摘要

本发明涉及一种具有等离子体电源(AP)和衬底电源(PS)的离子注入机的控制方法，该衬底电源包括：发电机(HT)、在所述发电机和该衬底电源的输出端子之间连接的第一断路器(SW1)、在所述输出端子和一个中性端子之间连接的第二断路器(SW2)，所述方法包括注入阶段(A-D)和中和阶段(E-H)。该方法还包括与所述注入阶段和所述中和阶段部分重叠的释放阶段(C-F)，在该释放阶段期间所述等离子体电源为去激励状态。另外，所述中和阶段包括用于关闭第二断路器的预备步骤(E-F)，该预备步骤后跟有用于激励等离子体电源(AP)的消除步骤(F-G)。

主权项

一种离子注入机的控制方法，所述离子注入机包括等离子体电源(AP)和衬底电源(PS)，所述衬底电源包括：‑发电机(HT)，所述发电机(HT)的正极接地，‑第一断路器(SW1)，所述第一断路器的第一极连接至所述发电机(HT)的负极，并且所述第一断路器的第二极连接至所述衬底电源的输出端子(S)，‑第二断路器(SW2)，所述第二断路器的第一极连接至所述输出端子(S)，并且所述第二断路器的第二极连接至中性端子(N)，所述方法包括注入阶段(A‑D)，在该注入阶段期间：‑所述等离子体电源被激励，‑所述第一断路器(SW2)被闭合，‑所述第二断路器(SW2)被打开，所述方法还包括中和阶段(E‑H)，在该中和阶段期间：‑所述第一断路器(SW1)被打开，‑所述第二断路器(SW2)被闭合，所述方法的特征在于：‑还包括与所述注入阶段和所述中和阶段部分重叠的释放阶段(C‑F)，在该释放阶段持续期间所述等离子体电源(AP)为去激励状态，‑所述中和阶段包括用于闭合所述第二断路器(SW2)的预备步骤(E‑F)，该预备步骤之后是用于激励所述等离子体电源(AP)的消除步骤(F‑G)。