涂布装置及涂布方法

摘要

本发明提供能够以短的生产节拍对太阳能电池用基板之类的方形的基板进行涂布的涂布装置及涂布方法。本发明涉及如下的涂布装置，即，具备：吸盘部，其可以在吸附保持了平面形状为方形的基板的状态下旋转；第一喷嘴(23)，其向基板滴加第一液体材料；第二喷嘴(26)，其从与第一喷嘴(23)不同的位置向基板滴加第二液体材料；移动部(25)，其使第一喷嘴(23)及第二喷嘴(26)在被吸盘部吸附保持的基板上一体化移动；限制机构(24a)，其以使第一液体材料及第二液体材料的至少一者的液滴滴加到基板的部的方式限制液滴的滴加位置。

主权项

一种涂布装置，其特征在于，具备：吸盘部，其可以在吸附保持了平面形状为方形的基板的状态下旋转；第一喷嘴，其向所述基板滴加第一液体材料；第二喷嘴，其从与所述第一喷嘴不同的位置向所述基板滴加第二液体材料；移动部，其使所述第一喷嘴及所述第二喷嘴在被所述吸盘部吸附保持的所述基板上一体化移动；限制机构，其以使所述第一液体材料及所述第二液体材料的至少一者的液滴滴加到所述基板的中央部的方式限制所述液滴的滴加位置。