| 发明名称 | 一种屏蔽板结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种屏蔽板结构，所述屏蔽板结构包括：屏蔽板主体；从上至下穿透所述屏蔽板主体中心的通孔；与所述通孔连通的气体管路，所述气体管路中通入气体以在所述屏蔽板主体下表面形成气膜；所述通孔在屏蔽板主体中呈圆台型，所述圆台的侧面与屏蔽板主体的下表面所形成的钝角范围为100～115°；所述气体管路中通入的气体为氮气；所述气体管路上设置有阀门以及控制气体流量的控制系统。本实用新型的屏蔽板结构通过在屏蔽板主体中心位置设置一通孔，并往通孔中通入一定流量的气体，使屏蔽板主体在旋转过程中在其底部形成气膜，该气膜可以避免屏蔽板主体的表面被溅射液滴，从而确保晶圆不会被滴落的液滴污染，引入缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN203882971U | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
| 申请号 | CN201420268517.4 | 申请日期 | 2014.05.23 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 | 发明人 | 金滕滕;杨勇 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 李仪萍 |
| 主权项 | 一种屏蔽板结构，其特征在于，所述屏蔽板结构至少包括：屏蔽板主体；从上至下穿透所述屏蔽板主体中心的通孔；与所述通孔连通的气体管路，所述气体管路中通入气体以在所述屏蔽板主体的下表面形成气膜。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号 | ||