压电振动片、压电振子以及加速度传感器

摘要

本发明提供他轴灵敏度降低了的压电振动片、安装有该压电振动片的压电振子以及加速度传感器。该压电振动片由Z切割压电基板形成，具有：弯曲振动的振动臂；基部，其固定所述振动臂的纵长方向的一端侧而将所述振动臂以悬臂状态支撑，所述振动臂的纵长方向的另一端侧为自由端，所述压电振动片具有在所述振动臂的+Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第一槽、和在所述振动臂的-Z面侧的面沿所述纵长方向设置的第二槽，所述第二槽的所述基部侧的端比所述第一槽的所述自由端侧的端靠近所述自由端侧。

主权项

一种压电振动片，其特征在于，该压电振动片由压电基板构成，具有基部和振动臂，所述振动臂从所述基部起在第一方向延伸，具有彼此处于正反关系的表面和背面，并且，具有在所述表面沿着所述第一方向设置的第一槽和在所述背面沿着所述第一方向设置的第二槽，在与所述第一方向交叉的第二方向弯曲振动，所述第一槽的所述基部相反侧的端比所述第二槽的所述基部侧的端靠近所述基部侧，所述第一槽的深度比从所述背面到所述第一槽的厚度大。