发明名称 |
谱数据分析的方法和系统 |
摘要 |
一种谱数据分析的方法和系统。该方法包含以下步骤:收集未知材料的谱;提供一组元素数据模板;在逼近该谱时计算针对该元素数据模板的最小二乘方加权;在逼近该谱时除去一个或更多个有负加权的模板;以及在所述一个或更多个模板被除去的情况下重新计算该谱的逼近。 |
申请公布号 |
CN102084229B |
申请公布日期 |
2014.10.15 |
申请号 |
CN200980112490.1 |
申请日期 |
2009.02.06 |
申请人 |
FEI公司 |
发明人 |
D·R·科贝特;P·戈特利布;M·J·欧文;A·H·门兹斯 |
分类号 |
G01J3/28(2006.01)I;G01J3/30(2006.01)I;G01J3/46(2006.01)I |
主分类号 |
G01J3/28(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
杜娟娟;高为 |
主权项 |
一种谱数据分析方法,该方法包含以下步骤: 收集未知材料的谱; 提供一组元素数据模板; 在逼近该谱时,计算该元素数据模板的最小二乘方加权; 在逼近该谱时,除去一个或更多个具有负加权的模板; 在所述一个或更多个模板被除去的情况下重新计算该谱的逼近; 选择该逼近的一个元素; 用重叠元素替代所述一个元素; 用该重叠元素的模板而不是所述一个元素的模板计算候选解; 确定对于该候选解最小绝对误差是否被减小;以及 如果该最小绝对误差被减小了,则将该候选解存储为该谱的被更新的逼近。 |
地址 |
美国俄勒冈州 |