主权项 |
利用石墨烯修饰高电子迁移率晶体管测量DNA杂化方法,其特征在于,具体包括以下步骤:首先,<b>HEMT的构建:在温度</b>580℃下,分子束外延沉积GaAs层1μm,Al<sub>0.26</sub> Ga<sub>0.7</sub>As层3nm,Si掺杂AlGaAs层22nm,及Si掺杂GaAs帽层5nm;沉积Ni/AuGe/Ni/Au作为HEMT的源极和漏极,其中,Ni: 50 nm, AuGe: 204 nm, Ni: 10 nm, Au: 50 nm;利用等离子体增强化学气相沉积法将SiO<sub>2</sub>绝缘层沉积到器件表面;用石蜡对HEMT进行封装,仅保持栅极暴露在外;<b>其次,探针DNA固定到HEMT栅极:</b>将探针DNA溶液与浓度为0.1‑10 mg/mL石墨烯乙醇分散液,进行混合,其混合比例为DNA溶液体积:石墨烯分散液体积为1:6‑1:3,在温度为18‑22℃下将混合液孵化30‑50分钟,随后,将适量孵化液滴在步骤1制备得到的HEMT栅极上,在温度为0‑4℃下进行孵化和干燥、备用;其中,探针DNA溶液由磷酸盐缓冲液配置,浓度在0.01‑10μM;<b>最后,石墨烯修饰HEMT对DNA杂化进行检测:</b>将不同浓度的目标DNA滴加到已经固定了探针DNA的HEMT栅极,测量HEMT源极和漏极之间的电流变化,获得DNA杂化电流。 |