发明名称 | 一种光学薄膜激光毁伤的识别装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种光学薄膜激光毁伤的识别装置,该装置由测试样品台、质荷比采集系统及计算机运算系统组成。采用质谱采集、分析的方法确定所毁伤材料中包含的元素种类,判别方法是采集质荷比的分布,通过计算机软件进行质谱分析与元素判别,从而准确、在线、快速判别出薄膜是否发生损伤。本实用新型能够实现在线、实时、快速、准确判别薄膜或光学元件在强激光下的毁伤状态。将该方法应用于激光损伤阈值测试中,可实现测试系统的集成化、自动化、智能化。该方法判别精度高,可有效排除外界干扰对测试结果的影响。 | ||
申请公布号 | CN203881709U | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
申请号 | CN201420243812.4 | 申请日期 | 2014.05.13 |
申请人 | 西安工业大学 | 发明人 | 苏俊宏;徐均琪;惠迎雪;梁海锋;杨利红;李建超 |
分类号 | G01N27/64(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/64(2006.01)I |
代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人 | 蔡和平 |
主权项 | 一种光学薄膜激光毁伤的识别装置,其特征在于:包括激光器(1)以及测试样品(2);测试样品(2)安装于测试样品台(9)上,激光器(1)正对测试样品(2)的待测表面,测试样品台(9)的一侧设置有用于加速经激光辐照样品所溅射出的微粒,并形成准直粒子束的加速电极(4),且测试样品台(9)与加速电极(4)之间还设置有用于提高离子含量的电子源(3);加速电极(4)的后端设置使离子发生偏转的磁场(5),与加速电极(4)平行的一侧设置有用于接收不同偏转半径的离子的若干接收电极(6);接收电极(6)的输出端均连接到A/D转换器(7)的信号输入端上,A/D转换器(7)的信号输出端连接有用于生成溅射粒子质量谱图的计算机(8)。 | ||
地址 | 710021 陕西省西安市未央区学府中路2号 |