晶圆缺陷监控方法

摘要

本发明公开了一种晶圆缺陷监控方法，通过根据对工艺设备检测工艺性能测试项目的结果，及时提高对出现问题的工艺设备生产出来的晶圆的抽查率，从而自动调整晶圆缺陷的监控规则、方法，进行有针对性的在线缺陷监控，提高检测到缺陷晶圆的概率，并提高生产的运行效率，降低生产的成本。

主权项

一种晶圆缺陷监控方法，其特征在于，其包括以下步骤：步骤S01，提供一晶圆生产线，该生产线包括多台工艺设备以及至少一台晶圆缺陷检测设备，其中，每台该工艺设备由工艺性能测试设备按预设周期检测其工艺性能测试项目是否符合规格，而该晶圆缺陷检测设备按预设规则抽检工艺设备生产出来的晶圆；步骤S02，当工艺性能测试设备检测到某台工艺设备的某项工艺性能测试项目不符合规格，则对应该项工艺性能测试项目的晶圆缺陷检测设备提高其对该台工艺设备生产出来的晶圆的抽检率。