| 发明名称 | 研磨垫及研磨装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及研磨垫，其具有：在研磨面上以规定的间隔平行地设置的多个第一槽；设置在所述研磨面上且与所述第一槽交叉的多个第二槽；及设置在所述第一槽及所述第二槽的底面上的由研磨液供给孔及研磨液吸引孔构成的多个孔。 | ||
| 申请公布号 | CN104105573A | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
| 申请号 | CN201380008676.9 | 申请日期 | 2013.01.23 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 山本一义 |
| 分类号 | B24B37/26(2012.01)I;B24B37/04(2012.01)I | 主分类号 | B24B37/26(2012.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 高培培;车文 |
| 主权项 | 一种研磨垫，具有：在研磨面上以规定的间隔平行地设置的多个第一槽；设置在所述研磨面上且与所述第一槽交叉的多个第二槽；及设置在所述第一槽及所述第二槽的底面上的由研磨液供给孔及研磨液吸引孔构成的多个孔。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||