| 发明名称 | 一种方便拆装硅烷法CVD炉铜电极的工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开一种能够方便拆装硅烷法CVD炉铜电极的工具。它包括手柄、防撞固定架、防滑杆身、圆柱形连接头（下部中空，有内螺纹）。本实用新型涉及的是从一个中空的夹套中提取铜电极，此提取工具不但要求轻便，而且要垂直的把铜电极从夹套底部安全取出，避免铜电极在取出过程中撞伤夹套内壁。此工具简化了检修步骤，避免拆除夹套和放空导热油的步骤，节省了成本和时间。 | ||
| 申请公布号 | CN203878211U | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
| 申请号 | CN201420273977.6 | 申请日期 | 2014.05.27 |
| 申请人 | 浙江中宁硅业有限公司 | 发明人 | 陈德伟;柴岗元;蒋国城 |
| 分类号 | C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人 | 张法高 |
| 主权项 | 一种方便拆装硅烷法CVD炉铜电极的工具，其特征包括手柄（1）、防撞固定架（2）、防滑杆身（3）、圆柱形连接头（4）；防滑杆身（3）穿过防撞固定架（2），防滑杆身（3）上端与手柄（1）相连，下端与圆柱形连接头（4）相连，圆柱形连接头（4）下部中空，带有内螺纹可与铜电极的上端螺纹配合。 | ||
| 地址 | 324000 浙江省衢州市衢州高新园区华荫北路27号 | ||