| 发明名称 | 卡盘工作台 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种卡盘工作台，其适于抽吸保持翘曲的晶片。所述卡盘工作台保持晶片，其特征在于，所述卡盘工作台具备：工作台主体，其具有抽吸保持晶片的保持面；以及吸附辅助体，其具有倒裙子形状的裙部，所述吸附辅助体以围绕该工作台主体的方式安装于该工作台主体，该吸附辅助体由弹性部件形成，该裙部的裙摆比该保持面向上方突出，并且该裙摆的直径形成得比晶片的直径小。 | ||
| 申请公布号 | CN104103568A | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
| 申请号 | CN201410125835.X | 申请日期 | 2014.03.31 |
| 申请人 | 株式会社迪思科 | 发明人 | 吴斌 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;蔡丽娜 |
| 主权项 | 一种卡盘工作台，其保持晶片，所述卡盘工作台的特征在于，其具备：工作台主体，其具有抽吸保持晶片的保持面；以及吸附辅助体，其具有倒裙子形状的裙部，所述吸附辅助体以围绕该工作台主体的方式安装于该工作台主体，该吸附辅助体由弹性部件形成，该裙部的裙摆比该保持面向上方突出，并且该裙摆的直径形成得比晶片的直径小。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||