振动元件、电子装置、电子设备以及移动体

摘要

本发明涉及一种振动元件、电子装置、电子设备以及移动体，其中，振动元件具备：基部；支承臂，其从所述基部延伸出；驱动用振动臂，其从所述支承臂起向与所述支承臂的延伸方向交叉的方向延伸出；驱动部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第一电极层、第二电极层以及被设置于所述第一电极层与所述第二电极层之间的第一压电体层，并且所述第一电极层被配置于所述驱动用振动臂侧；监测部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具有第三电极层、第四电极层以及被设置于所述第三电极层与所述第四电极层之间的第二压电体层，所述第三电极层被配置于所述驱动用振动臂侧，并且所述监测部对所述驱动用振动臂的振动进行检测。

主权项

一种振动元件，其特征在于，具备：基部；支承臂，其从所述基部延伸出；驱动用振动臂，其从所述支承臂起向与所述支承臂的延伸方向交叉的方向延伸出；驱动部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具备第一层叠结构体，所述层叠结构体具有第一电极层、第二电极层、和被设置于所述第一电极层与所述第二电极层之间的第一压电体层；监测部，其被设置于所述驱动用振动臂上，且具备第二层叠结构体，所述层叠结构体具有第三电极层、第四电极层、和被设置于所述第三电极层与所述第四电极层之间的第二压电体层，并且产生与所述振动用驱动臂的振动相对应的电荷。