一种用于机械结构中液体层厚度监测的超声传感器

摘要

本发明公开了一种用于机械结构中液体层厚度监测的超声传感器，属于机械结构监测技术领域。本发明的超声传感器包括用于产生和/或接收超声波的压电部件，所述压电部件为固着于所述机械结构表面的压电材料薄膜。所述压电材料薄膜优选氮化铝薄膜。本发明还公开了一种用于机械结构中液体层厚度监测的超声监测系统，包括由多个如上所述超声传感器组成的超声传感器阵列。相比现有技术，本发明的超声传感器可大幅度减小体积，从而避免影响机械正常运行，同时还可以有效提高超声波中心频率，进而提升对超薄型液体层的测量精度。

主权项

一种用于机械结构中液体层厚度监测的超声传感器，包括用于产生和/或接收超声波的压电部件，其特征在于，所述压电部件为固着于所述机械结构表面的压电材料薄膜。