发明名称 原子力显微镜用试样固定部件
摘要 本发明提供一种原子力显微镜用试样固定部件,其能够减少测定中的试样的漂移量。本发明的原子力显微镜用试样固定部件包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。
申请公布号 CN104105972A 申请公布日期 2014.10.15
申请号 CN201380007659.3 申请日期 2013.01.29
申请人 日东电工株式会社 发明人 前野洋平
分类号 G01Q30/20(2006.01)I 主分类号 G01Q30/20(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳
主权项 一种原子力显微镜用试样固定部件,其特征在于,包含:具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。
地址 日本大阪府