发明名称 | 原子力显微镜用试样固定部件 | ||
摘要 | 本发明提供一种原子力显微镜用试样固定部件,其能够减少测定中的试样的漂移量。本发明的原子力显微镜用试样固定部件包含具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。 | ||
申请公布号 | CN104105972A | 申请公布日期 | 2014.10.15 |
申请号 | CN201380007659.3 | 申请日期 | 2013.01.29 |
申请人 | 日东电工株式会社 | 发明人 | 前野洋平 |
分类号 | G01Q30/20(2006.01)I | 主分类号 | G01Q30/20(2006.01)I |
代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
主权项 | 一种原子力显微镜用试样固定部件,其特征在于,包含:具备多个长度200μm以上的纤维状柱状物的纤维状柱状结构体。 | ||
地址 | 日本大阪府 |